箱式高溫爐注意事項及常見故障

1.除了做實驗外，不要停留在高溫爐管區。

2.實驗工作完畢時，若無人繼續使用，請關特殊氣體，保留N2流動， 爐管保持在standby溫度，并查看是否有其它電源該關而沒有關，如:cleanhood燈光、煮酸用的小電爐或其它，請隨手關掉。

3.處理HF時，請戴手套，如不小心碰到HF時，請立刻沖水，用葡萄酸鈣加2%之水，揉擦傷處15'。

4.石英玻璃制品請小心使用，以免破裂，引起嚴重割傷。

5.避免吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。

6.(KCN)不可與酸類混置，因兩者可產生劇毒之KCN氣體。

7.旦發現有妨礙安全之事物時，請立即通知有關人員(技術員等)。

8.請節約純水用量。

9.破晶片、濾紙、棉花棒.......等，請勿掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板漬水。

10長短推桿之前端，在還沒使用到時，請朝上以免污染。

11.晶片進出爐口時，承接boat的holder，請勿碰觸爐管口，以免污染爐管。

高溫箱式電阻爐的常見故障

1.高溫氣氛爐不升溫 

（1）電源電壓正常，控制器工作正常，電流表無顯示，常見故障為電爐絲斷路，可用萬用表檢查并用相同規格的電爐絲更換。 

（2）電源電壓正常，控制器不能工作，可檢修控制器內部的開關、熔斷器及爐門的行程開關。如果電爐的爐門沒有關好控制器也不能工作，控制器故障的檢修方法可參閱控制器說明書。 

（3）供電電源的故障：不接電爐時工作正常，接電爐時不能正常工作，控制器內發出連續的噠噠聲音其原因為供電線路的電壓降太大或插座及控制開關接觸不好，可調整或更換。  

2.高溫箱式電阻爐升溫慢 

（1）電源電壓正常，控制器工作正常，常見故障為部分電爐絲斷路，可用萬用表檢查并用相同規格的電爐絲更換。 

（2）電源電壓正常，但是電爐的工作電壓低，其原因為供電線路的電壓降太大或插座及控制開關接觸不好，可調整更換。